Semiconductor(UHP)(주)드라스타

DRM250 (Springless)

Micro Miniature Pressure Regulator

Products Feature

UHP Micro Miniature Pressure Regulators(VCR 1/4”)

DRM250 시리즈는 Miniature Pressure Regulators UHP (Ultra High Purity) 압력 조절기로서 Body는 STS 316L or 316L VAR (더블멜트)를 사용하였으며 반도체 제조용 가스설비, 고압 가스라인, Bulk 가스라인, 제약, 연구소 및 실험실 등에 사용할 수 있도록 설계되었습니다. E.P. (Electropolishing) 처리를 함으로써 부식성 가스 사용환경에 더욱 적합한 제품입니다. 최대 압력은 17bar (250psig), 출구압력은 모델에 따라 0.3bar (5psig) ~ 최대 7bar (100psig)까지 사용 가능합니다.

- Miniature Size 반도체 생산 라인 등에 사용 가능하도록 내부 표면은 EP 10 Ra, 5Ra급까지 처리하였습니다.
- 입구 압력은 최대 17bar (250psig)이고 출구압력은 모델에 따라 0.3bar (5psi) ~ 최대 7bar (100psig)까지 사용할 수 있습니다.
- 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.

※ [DRASTAR Regulators are Oil-free] 드라스타의 모든 레귤레이터는클린 벤치, 헬륨디텍터, 파티클타운터, 초음파 세척기, 초 순수 시스템, 진공 포장기 등을 갖춘 클린룸(Clean Room)에서 CGA 4.1 및 ASTM G-93에 명시된 절차와 규정에 따라 조립, 세척, 검사 및 포장이 이루어지며 그리스 또는 오일 등 유분이 완전히 세정된 제품입니다.

Ordering Information.

DRM250

025

BASIS SERIES NUMBER	BODY MATERIAL & SURFACE FINISH	OUTLET PRESSURE RANGE	DIAPHRAGM MATERIAL	MAX. INLET PRESSURE
DRM250	B = 316L E.P -------------- 10Ra C = 316L E.P(P.E.P) ------- 5Ra D = 316L VAR E.P ---------- 10Ra E = 316L VAR E.P(P.E.P)---- 5Ra	025=.1-25psi(1.7bar) 050=.1-50psi(3.4bar) 100=.2-100psi(7bar)	S = STS 316L H = Hastelloy-C	L = 250psi(17bar)

4FS

G0S

SEAT MATERIAL	FLOW CAPACITY	INLET OUTLET PORTS SIZE Type "A" ± 1.0mm	GAUGE PORTS OPTIONS Gauge Ports
P = PCTFE T = Teflon V = Vespel	S = Cv 0.06 Standard O = Cv 0.2 Optional	4MS = 1/4" Male Swivel ---- 70.6mm 4FS = 1/4" Female Swivel -- 70.6mm 4IMF = In Male/Out Female --70.6mm 4IFM = In Female/Out Male -- 70.6mm ~~4TS = 1/4" Tube Stubs ------ 70.6mm~~	G0S = 2ports

Specification

Ports	DRM250-B025S-Lxx-4MS-G0S 1/4" Male DRM250-B025S-Lxx-4FS-G0S 1/4" Female
Design Pressure	150% maximum rated
Leak Rate Certification	to 1 x 10 ^-9 atm cc/sec Helium available.
Body Materials	DRM250-B025S-Lxx-4xx-G0S 316L E.P ------------------ 10Ra DRM250-C025S-Lxx-4xx-G0S 316L E.P(P.E.P) ------------5Ra DRM250-D025S-Lxx-4xx-G0S 316L VAR E.P ---------------10Ra DRM250-E025S-Lxx-4xx-G0S VAR(P.E.P) ------------ 5Ra
Bonnet Material	Nickel Plated Brass (Stainless steel 316L Optional)
Diaphragm	DRM250-B025S-Lxx-4xx-G0S STS 316L DRM250-B025H-Lxx-4xx-G0S Hastelloy-C22
Main Valve	DRM250-B025x-Lxx-4xx-G0S Hastelloy-C22 Standard
Valve Seat	DRM250-B025S-LPx-4xx-G0S PCTFE DRM250-B025S-LTx-4xx-G0S Teflon DRM250-B025S-LVx-4xx-G0S Vespel
Inlet Pressure Ranges	DRM250-B025S-LPx-4MS-G0S 250psi(17bar)
Outlet Pressure Ranges	DRM250-B025S-Lxx-4MS-G0S 25psi(1.7bar) DRM250-B050S-Lxx-4MS-G0S 50psi(3.4bar) DRM250-B100S-Lxx-4MS-G0S 100psi(7bar)
Operating Temperature	PCTFE -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F) Teflon -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Vespel -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F)
Flow Capacity	DRM250-B025S-LPS-4MS-G0S Cv=0.06 Standard DRM250-B025S-LPO-4MS-G0S Cv=0.2 Optional
Weight	0.7kg

권장사항 :

각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.